整套工艺分制氮及纯化两部分。首先第一步将原料空气经压缩机压缩至0.8MPa，耗气量为1.7m3/min，再经除油器除去大部分油、水、尘埃后，进入干燥机，使压缩空气的常压露点降至-23℃左右，除去大量的水分，再经缓冲过滤后进入二个填装吸附剂（主要为碳分子筛，复合床结构）的变压吸附制氮机组。洁净的压缩空气由吸附塔底端进入，气流经特殊的空气扩散器扩散以后，均匀进入吸附塔，进行氧氮吸附分离，然后从出口端流出氮气，经精密过滤器过滤后，进入氮气缓冲罐，之后经均压和减压（至常压），吸附剂脱除所吸附的杂质组分（主要为氧气），完成吸附剂的再生。二个吸附塔交替循环操作，送入原料空气，连续生产纯度≥99.9%的普氮，产量为22Nm3/h，氮气输出压力为0.65MPa(可调)。
第二步为碳载纯化装置。从氮气缓冲罐出来的普氮，在预热器中和脱氧器中出来的高温氮气进行热交换升温后，经加热器加热到一定温度以后，进入填充了碳催化剂的脱氧器，碳和氮气中的余氧反应生成二氧化碳，再进入静态混合器式冷却器降到常温，再通过变压吸附原理，用填充了分子筛的微热再生干燥器除去二氧化碳和水分，最后经过超精度过滤器过滤以后，得到高纯度氮气。此外在纯化装置中设置的预热器（热交换器），可回收脱氧器中脱氧后氮气的热量，可大大节约能耗30%以上。同时冷却器采用了静态混合器式结构，避免了常规冷却器列管变形而导致的故障问题，大大提高了装置的连续性操作和性能。最后得到的氮气纯度≥99.999%，产量为20m3/h，氮气输出压力为0.5MPa(可调),氮气常压露点≤-60℃。
