| 电子行业超纯水常规制备工艺 |
电子行业超纯水常规制备工艺
1）采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2）采用反渗透加离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3）采用反渗透加EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
|
级别
|
EW-Ⅰ
|
EW-Ⅱ
|
EW-Ⅲ
|
EW-Ⅳ
|
|
电阻率
MΩ·cm（25℃） |
18
(95%时间) 不低于17 |
15
(95%时间) 不低于13 |
12.0
|
0.5
|
|
全硅 最大值ug/L
|
2
|
10
|
50
|
1000
|
|
>1um微粒数，最大值 个/ml
|
0.1
|
5
|
10
|
500
|
|
细菌数，最大值，个/mL
|
0.01
|
0.1
|
10
|
100
|
|
铜，最大值 ug/L
|
0.2
|
1
|
2
|
500
|
|
锌，最大值 ug/L
|
0.2
|
1
|
2
|
500
|
|
镍，最大值 ug/L
|
0.1
|
1
|
2
|
500
|
|
钠，最大值 ug/L
|
0.5
|
2
|
5
|
1000
|
|
钾，最大值 ug/L
|
0.5
|
2
|
5
|
500
|
|
氯，最大值 ug/L
|
1
|
1
|
10
|
1000
|
|
硝酸根，最大值 ug/L
|
1
|
1
|
10
|
500
|
|
磷酸根，最大值 ug/L
|
1
|
1
|
10
|
500
|
|
硫酸根，最大值 ug/L
|
1
|
1
|
10
|
500
|
|
总有机碳，最大值 ug/L
|
20
|
100
|
200
|
1000
|
电话：0537-6988002
传真：0537-6988009
手机：15264793358
联系人：董
电子行业超纯水常规制备工艺
1）采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2）采用反渗透加离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3）采用反渗透加EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
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级别
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EW-Ⅰ
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EW-Ⅱ
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EW-Ⅲ
|
EW-Ⅳ
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电阻率
MΩ·cm（25℃） |
18
(95%时间) 不低于17 |
15
(95%时间) 不低于13 |
12.0
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0.5
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全硅 最大值ug/L
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2
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50
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1000
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>1um微粒数，最大值 个/ml
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0.1
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5
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10
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500
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细菌数，最大值，个/mL
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0.01
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0.1
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10
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100
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铜，最大值 ug/L
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0.2
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1
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2
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500
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锌，最大值 ug/L
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0.2
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1
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500
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镍，最大值 ug/L
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0.1
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1
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500
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钠，最大值 ug/L
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0.5
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2
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5
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1000
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钾，最大值 ug/L
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0.5
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500
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氯，最大值 ug/L
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1
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1
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10
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1000
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硝酸根，最大值 ug/L
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1
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1
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10
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500
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磷酸根，最大值 ug/L
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1
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1
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10
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500
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硫酸根，最大值 ug/L
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1
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1
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10
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500
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总有机碳，最大值 ug/L
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20
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100
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1000
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电话：0537-6988002
传真：0537-6988009
手机：15264793358
联系人：董经理
QQ：2621649098
经理
QQ：2621649098
